潔凈室的定義

潔凈室，又稱潔凈室或潔凈室?！皾崈羰摇笔侵笧榍宄欢臻g范圍內(nèi)空氣中的顆粒、有害空氣、細(xì)菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度及分布、噪聲、振動(dòng)、照明、靜電等控制在一定需求范圍內(nèi)而專門設(shè)計(jì)的房間。也就是說，無論外界空氣條件如何變化，房間都能具有保持原有設(shè)定要求的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特性。潔凈室最重要的功能是控制產(chǎn)品(如硅片等)的潔凈度、溫度和濕度。)接觸，使產(chǎn)品能夠在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，我們稱之為潔凈室。